案例詳細
“點石成金”的芯片制造業
“半導體工業”,“芯片制造”,這些絕對是當前最火的詞。一片小小的芯片,要歷經:
芯片制造業最常用的材料 “硅”,屬于半導體;并且IC工作基本原理,與半導體特性相關;所以這一工業也被稱為“半導體工業”。
自然界中無處不在的沙子,其主要組成部分也是硅元素;而高度集成的核心芯片,價格遠高于黃金;所以半導體芯片制造業,也被稱為“點石成金”的行業,它最大程度集中了資金,技術,人力等資源,成為現代最核心的高科技產業。
ZYGO 與半導體芯片制造
當前芯片制造,已經進入到數納米的微觀世界,涉及到材料,光學,精密機械等等幾乎所有領域的尖端技術。
ZYGO 公司三個主要業務部門,光學計量設備,精密位移控制,精密光學制造,都在半導體相關領域有著廣泛應用。
ZYGO 為半導體行業核心裝備-“光刻機”,提供基于差頻激光干涉,高精度位移 ZMI 檢測方案。ZYGO是國際上先進光刻機中-“位移控制系統”,主要供應商。
納米級,非接觸,光學計量方案
芯片制造的各個步驟,都會在納米級尺度上,關注晶圓表面形貌,紋理,以及微觀結構等等信息。
ZYGO 激光干涉儀及光學輪廓儀,基于光學干涉原理,以非接觸方式,納米級測量關鍵面形貌及紋理;廣泛應用于晶圓制造,芯片封裝等等半導體工業領域。
超精密光學器件
半導體行業核心裝備-“光刻機”中,會用到大量超精密光學器件。包括用于光刻物鏡,納米級超精密球面或非球面透鏡(上圖);以及承載晶圓的超精密微晶平臺(下圖)。
ZYGO超精密光學加工部門,為半導體光刻機核心廠商,定制和批量技工這些超精密光學器件。
半導體芯片制造業,幾乎集中了所有行業的尖端技術;這其中超精密光學制造,精密光學計量技術尤為重要。
ZYGO 作為精密光學制造及計量的知名公司,為半導體行業最挑戰的應用,提供專業的解決方案。