案例詳細
“點石成金”的芯片制造業(yè)
“半導(dǎo)體工業(yè)”,“芯片制造”,這些絕對是當前最火的詞。一片小小的芯片,要歷經(jīng):
芯片制造業(yè)最常用的材料 “硅”,屬于半導(dǎo)體;并且IC工作基本原理,與半導(dǎo)體特性相關(guān);所以這一工業(yè)也被稱為“半導(dǎo)體工業(yè)”。
自然界中無處不在的沙子,其主要組成部分也是硅元素;而高度集成的核心芯片,價格遠高于黃金;所以半導(dǎo)體芯片制造業(yè),也被稱為“點石成金”的行業(yè),它最大程度集中了資金,技術(shù),人力等資源,成為現(xiàn)代最核心的高科技產(chǎn)業(yè)。
ZYGO 與半導(dǎo)體芯片制造
當前芯片制造,已經(jīng)進入到數(shù)納米的微觀世界,涉及到材料,光學(xué),精密機械等等幾乎所有領(lǐng)域的尖端技術(shù)。
ZYGO 公司三個主要業(yè)務(wù)部門,光學(xué)計量設(shè)備,精密位移控制,精密光學(xué)制造,都在半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
ZYGO 為半導(dǎo)體行業(yè)核心裝備-“光刻機”,提供基于差頻激光干涉,高精度位移 ZMI 檢測方案。ZYGO是國際上先進光刻機中-“位移控制系統(tǒng)”,主要供應(yīng)商。
納米級,非接觸,光學(xué)計量方案
芯片制造的各個步驟,都會在納米級尺度上,關(guān)注晶圓表面形貌,紋理,以及微觀結(jié)構(gòu)等等信息。
ZYGO 激光干涉儀及光學(xué)輪廓儀,基于光學(xué)干涉原理,以非接觸方式,納米級測量關(guān)鍵面形貌及紋理;廣泛應(yīng)用于晶圓制造,芯片封裝等等半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域。
超精密光學(xué)器件
半導(dǎo)體行業(yè)核心裝備-“光刻機”中,會用到大量超精密光學(xué)器件。包括用于光刻物鏡,納米級超精密球面或非球面透鏡(上圖);以及承載晶圓的超精密微晶平臺(下圖)。
ZYGO超精密光學(xué)加工部門,為半導(dǎo)體光刻機核心廠商,定制和批量技工這些超精密光學(xué)器件。
半導(dǎo)體芯片制造業(yè),幾乎集中了所有行業(yè)的尖端技術(shù);這其中超精密光學(xué)制造,精密光學(xué)計量技術(shù)尤為重要。
ZYGO 作為精密光學(xué)制造及計量的知名公司,為半導(dǎo)體行業(yè)最挑戰(zhàn)的應(yīng)用,提供專業(yè)的解決方案。