產(chǎn)品詳細(xì)
現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的最佳性能。
*1僅限Regulus8240/8230/8220
*沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
*采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的最佳性能(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
*采用污染小、高真空樣品倉
*運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2
| 極低著陸電壓下高分辨觀察 |
超高分辨觀察 |
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樣品：金顆粒 著陸電壓：10 V
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樣品：Pt催化劑 加速電壓：30 kV
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低加速電壓下高分辨EDX分析 |
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樣品：Sn球 著陸電壓：1.5 kV |
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*2僅限Regulus8240/8230/8220
規(guī)格
| 項(xiàng)目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
| 二次電子分辨率 |
0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3 |
0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 |
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| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺(tái) | 樣品臺(tái)控制 | 3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | ||||
| 移動(dòng)范圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 μm以下含±0.5 μm | |||
*3減速模式下觀察
*4以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率
