研究級經典型橢偏儀

光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nm

UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為先進薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合。

UVISEL Plus作為一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型，它采用了PEM 相位調制技術，與機械旋轉部件技術相比， 能提供更好的穩定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術，可在3分鐘以內實現高分辨的樣品測試（190-2100 nm），校準僅需幾分鐘。基于全新的電子設備，數據處理和高速單色儀，FastAcq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq專門為薄膜表征設計，雙調制技術可以確保您獲得優異的測試結果。

相位調制技術的獨有特點為高頻調制 50 kHz，信號采集過程無移動部件：

1、測試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)

2、從FUV到NIR具有優良的信噪比

3、數據采集速度快，高達50毫秒/點，是動力學研究和在線測量的理想選擇

相比于采用 旋轉元件調制的傳統橢圓偏振光譜儀，UVISEL Plus的相位調制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面，還可以表征50μm的厚膜。

在測試有背反射的透明樣品時，測試簡單、準確，無需刮花背面。

UVISEL Plus還設計有多種附件及可選功能，便于客戶根據應用需求及預算選擇合適的配置。比如，微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。

UVISEL Plus采用模塊化設計，可靈活擴展。即可用于離線臺式測量，也可以耦合于鍍膜設備做在線監控。

UVISEL Plus可根據習慣選擇操作界面，一個是 DeltaPsi2  具有建模和擬合處理功能；另一個是 Auto-Soft 用戶導向的全自動樣品測試界面 ，工作流程直觀，易于非專業人士操作。

UVISEL Plus搭載FastAcq技術是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領域中優選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學研究的理想工具。

事業部: 科學儀器

產品分類: 橢圓偏振光譜儀

制造商: HORIBA France SAS

概要：

產品優勢

1、高精度和高靈敏度

2、模塊化設計

3、寬光譜范圍： 190-2100 nm

4、集數據測量、建模和自動化操作為一體的軟件包

獲得的信息

1、膜層厚度，從1?到50 μm

2、表面和界面粗糙度

3、光學常數 (n,k) ，適用于各向同/異性和漸變層

4、光學特性如：吸收系數α, 光學帶隙Eg

5、材料性能：合金成分、孔隙率、結晶度及形貌等

6、穆勒矩陣

7、退偏

配置：

UVISEL 規格

光譜范圍：標配190-885nm，可擴展至近紅外2100nm

檢測系統：高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器

手動配置

光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（針孔）

樣品臺：直徑150mm，手動調節高度（20mm）和傾角

卡位量角器：手動調節角度，從55°到90°，步徑5°

自動配置

光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（針孔）

自動樣品平臺：200 x 200mm或300 x 300mm，手動調節高度（4mm）和傾角；XYZ樣品臺，theta平臺

自動量角器：自動調節角度，從45°到90°，步徑0.01°

集成型量角器

手動調節入射角度，從35°到90°，步徑5°

樣品臺：直徑150mm，手動調節高度（20mm）

自動準直系統（可選）

尺寸: 25cm*21cm*35cm

在線配置

機械適配器：CF35或KF40法蘭

易于在在線和離線配置間更改

更多信息

選配

附件：冷熱臺、液體樣品池、電化學反應池、反射模塊（測試0°入射的反射率）等

可視化：CCD攝像機

性能

準確度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空氣對射1.5 - 5.3 eV

重復性：NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001