產(chǎn)品詳細
智能型多功能橢偏儀
Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20μm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內(nèi)對450-1000nm的光譜數(shù)據(jù)進行采集、建模分析。自動化雙軟件操作平臺，從簡化的工作流程到高端研發(fā)，滿足不同層次和需求的客戶。
Smart SE是一款性價比極高的薄膜研發(fā)工具，以經(jīng)濟實惠的價格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統(tǒng)，準確定位分析位置及區(qū)域，7個不同尺寸的微光斑可用于微區(qū)特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復(fù)雜樣本的研究。
Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力，可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試。Smart Se可以滿足各類應(yīng)用領(lǐng)域，包括微電子，光伏，顯示，光學(xué)涂料，表面處理和有機化合物等。
事業(yè)部: 科學(xué)儀器
產(chǎn)品分類: 橢圓偏振光譜儀
制造商: HORIBA France SAS
概要：
快速、準確
易于升級
光斑可視化
| 標準配置 | |
| 光譜范圍： | 450nm to 1000nm |
| 光譜分辨率 | 優(yōu)于3nm |
| 光源 | 鹵素?zé)艉退{光LED |
| 測試時間 | 小于1秒到10秒 |
| 光斑尺寸 |
75μm * 150μm, 100μm * 250μm, 100μm * 500μm, 150μm * 150μm, 250μm * 250μm, 250μm * 500μm, 500μm*500μm |
| 入射角 | 450 to 900 ，步徑50 |
| 樣品尺寸 | 200mm以內(nèi) |
| 樣品準直 | 手動調(diào)整樣品臺高度（17mm以內(nèi)）和傾角 |
| 外形尺寸 | 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D) |
| 性能 | |
| 空氣對射精度 | Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20 |
| 厚度準確性： | 0.04% |
| 厚度重復(fù)性： | ±0.02% |
