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產品詳細


QualifireTM新功能,新技術

  • 全新設計的環紋抑制功能 – Qualifire? 全新飛點(Flying Spot)環紋抑制模式,集成了 ZYGO 專利的RoF(Ring of Fire)和(CARS) 技術的精華,可以消除干涉腔中相干空間噪點和相干牛眼紋,是新一代的環紋抑制解決方案。
  • 平面腔自動對焦 – 無需基于小工具,比如紙片邊緣、靶標等進行手動人工對焦;Qualifire?可以實現基于相位,對于平面干涉腔的自動對焦,從而穩定提高干涉儀ITF相位光學分辨能力。
  • 全新穩定光學縮放 – 全新的變倍模式,從 1 倍到 3 倍縮放,焦點和圖像中心都不會發生偏移。這樣在所有光學縮放倍率情況下,都能保證系統誤差的可靠去除,而不產生額外的對準誤差。
  • 智能附件 – 使用 ZYGO 智能附件可實現自動智能設置。智能設置可根據安裝的不同附件,自動配置。例如對于各型號平面或球面參考鏡 TF 及 TS 智能附件,干涉儀能自動裝載出廠校準好的系統誤差并自動加以擬合,從測得數據中自動去除系統誤差;對于球面參考鏡 TS,系統還可自動配置相關參數,以完成曲率半徑等應用的計算。

QualifireTM新改進

  • 輕量化設計 – Qualifire?更輕,更小!Qualifire? 最輕的型號不到 21Kg,并且尺寸更加緊湊,其它改進還包括易于抓握的手柄等,都提高了可移動性,以方便需要搬動激光干涉儀以適應測試樣品的應用場景。
  • 內置機械移相器PMR – 內置的機械移相器 (PMR),消除了搬運設備時的風險;提高了移相器的工作穩定性。

  • 模塊化,密封的光學系統 – Qualifire? 的光學系統是完全密封的,避免了灰塵隨著時間的推移污染光學器件,增加系統中的光學噪聲。這種模塊化設計也使維修變得更加容易,即使更換激光器或線路板,也不會干擾任何光學組件。

    移相干涉測量新方法

    菲索設計是許多現代系統中常見的光學計量方法,它使用一個固定的同軸相干點光源來照亮干涉腔。 在大多數情況下,這種設計都非常有效。 當移相和固定照明仍是黃金標準時, Zygo 一直在積極探索、尋求進步,并通過新的飛點模塊(Flying Spot Module)探索了動態照明的優勢。

    Qualifire 激光干涉儀具有許多具有創造力的、新穎的功能。

    • 飛點:新的環紋抑制技術
    • 平面腔自動對焦
    • 穩定變焦
    • 智能附件  

    Qualifire--功能強大,設計精簡

    Qualifire 可提供 4 英寸孔徑以及同類產品中較小的 6 英寸孔徑。某些 Qualifire 型號的重量不到 50 磅(23 千克),這使得該儀器更易于搬運,尤其是在測試元件無法被搬到儀器前的情況下。

    另一個優勢是內置移相器 (PMR),這消除了移動設備時對 PMR 內部 PZT 組件造成損壞的可能性。其他改進還包括易于抓握的手柄、易于操作的開關按鈕。

    此外,光學支腳是密封的,提供了額外的保護,從而避免了灰塵隨著時間的推移而積聚、增加系統中的偽影。 這種設計也使維修變得更加容易,即使更換激光器,也不會干擾任何光學組件。

    值得信賴的 Zygo Verifire 系列的方方面面都經過重新設計,充分考慮了用戶體驗和對計量的信心,為您帶來全新的 Qualifire 產品系列。