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產(chǎn)品詳細

臺階儀ET200A產(chǎn)品參數(shù)


最大試片尺寸

Φ200mm×高度50mm

重現(xiàn)性

1σ ≤ 1nm

測定范圍

Z:600um X:100mm

分解能

Z:0.1nm X:0.1um

測定力

10UN~500UN (1mg-50mg)

載物臺

Φ160mm, 手動360度旋轉(zhuǎn)

ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設(shè)計,可直接觀察到探針工作時的狀態(tài),更方便準確的定位測試區(qū)域。