產(chǎn)品詳細(xì)
ZYGO新型Verifire HDX干涉儀是為高精度的光學(xué)元件和系統(tǒng)設(shè)計(jì)和制造的，可以獲得元件表面的中頻特征信息。系統(tǒng)包含現(xiàn)有Verifire HD的所有功能-比如QPSI和長(zhǎng)壽命穩(wěn)頻的激光器，并增加了重要的增強(qiáng)功能，如刷新行業(yè)水平的分辨率和成像能力，儀器傳遞函數(shù)（ITF）、出眾的中頻特征分析和大坡度表面測(cè)試，同時(shí)也兼具了ZYGO DynaPhase®系列動(dòng)態(tài)采集技術(shù)，可以消除震動(dòng)引起的問(wèn)題并且能夠在近乎任何環(huán)境中精確計(jì)量。
特殊設(shè)計(jì)優(yōu)化的分辨率和性能
Verifire HDX系統(tǒng)具有全新的光學(xué)設(shè)計(jì)，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格設(shè)計(jì)，可為其所配的3.4kx 3.4k（1160萬(wàn)像素）傳感器提供突破像素限制的性能，呈現(xiàn)增強(qiáng)的圖像，可以顯示出較低分辨率干涉儀難以辨識(shí)的表面特征。這種很高的空間分辨率不會(huì)以犧牲速度為代價(jià)，該系統(tǒng)在全分辨率下以幀率96 Hz運(yùn)行，比其它高分辨率干涉儀速度快10倍，那些由于采樣速度較慢在采樣的時(shí)候會(huì)引入震動(dòng)誤差從而測(cè)試能力受限。功率譜密度（PSD）和衍射分析工具完善了Verifire HDX系統(tǒng)的中頻特征分析能力，并通過(guò)簡(jiǎn)單直觀的用戶(hù)界面來(lái)分析和報(bào)告綜合表面特性。
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光學(xué)表面測(cè)量中的中頻特征分析 |
UltraFlat和UltraSphereλ/ 40傳輸元件 |
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高質(zhì)量的參考光學(xué)元件和配件
UltraFlat?和UltraSphere?很高精度透射平面和球面，面形可以達(dá)到λ/40 PVr或更高，并且嚴(yán)格控制PSD特征進(jìn)行制造，以?xún)?yōu)化中頻特征。推薦將這些高精度參考光學(xué)元件與Verifire HDX干涉儀一起配合使用，以全面實(shí)現(xiàn)和提升系統(tǒng)的性能。無(wú)論它們是被用于垂直構(gòu)型還是水平構(gòu)型，UltraFlat透射平板面形精度不變，從而在測(cè)試設(shè)置中提供更大的靈活性。
Mx Software, Zernike Analysis Results
Mx? 軟件
ZYGO自主設(shè)計(jì)研發(fā)的Mx?分析軟件提供強(qiáng)大的操作功能和全面的數(shù)據(jù)分析功能，包括Zernike，斜率，PSD / MTF / PSF，棱鏡角度，角錐以及更多。該軟件集儀器控制，數(shù)據(jù)采集和分析軟件包與一體，集成了制造過(guò)程控制，運(yùn)行自動(dòng)化和報(bào)告關(guān)鍵中頻特征等工具包。軟件操作界面簡(jiǎn)單，直觀。它還包括了基于Python的腳本和遠(yuǎn)程控制接口，以實(shí)現(xiàn)很大的靈活性并集成到復(fù)雜的測(cè)試設(shè)置中。
ITF儀器傳遞函數(shù)-它是什么，為什么它是重要的？
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很多年來(lái)，大家一直關(guān)注于光學(xué)元件表面的形狀誤差，但隨著對(duì)光學(xué)系統(tǒng)性能需求的增加，控制中頻特征（MSF）也變得同樣重要。對(duì)于一些很高性能應(yīng)用，需要嚴(yán)格控制MSF特性以減少光散射并提高光學(xué)效率。 |
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