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產品詳細

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數


最大試片尺寸 210×210mm~300×400mm
重現性 1σ 0.5nm以內
測定范圍 Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
測定力

0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面。