產品詳細
新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀：
新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設計為在有空氣湍流和極端振動的環境中進行精確的光學計量的優化的光學儀器。DynaFiz? 光學系統的長壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機的高速快門能夠“凝固”振動。這種動態能力提供了在惡劣的環境中，傳統的時間相移技術不可能 實現的可靠的測量。
DynaFiz? 干涉儀的低噪聲，高分辨率相機和光學放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中間空間頻率特征。DynaFiz? 干涉儀具有獨特的實時數據獲取能力也給光學系統檢測提供了便利。LivePhase? 獲取能力提供了實時Zernike反饋為光學系統的光路對準進行追蹤。這是一個電影形式，把一系列動態圖像連接成電影提供光學系統隨時間變化的過程。采用 具有獨特性能和多功能的ZYGO DynaFiz? 干涉儀將使你的計量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。
主要性能特點
? 可以在空氣擾動和極端震動的環境中進行動態測量；
? 更新的抗振模式QPSI快速機械移相法；
? 優化的光學系統清晰呈現被測面的中頻信息；
? LivePhase技術能夠進行實時的Zernike分析；
? 影片模式捕獲、反映波陣面隨時間的變化情況；
? CARS功能，可以消除灰塵臟點引起的衍射環，及其對測試結果的影響
? DynaFiz校正算法，適用于高階和低階相差；
圖為：DynaFiz® Interferometer System
系統主要參數
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測量功能 |
精密測量各種反射面和光學系統的表面面形、精密測量光學系統的傳輸波前 |
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測量技術 |
DynaPhase動態測量技術；可選模式：機械相移測量（PSI） |
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校準系統 |
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動態模式 |
DyanaPhase 對準向導校準 |
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移相模式 |
快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
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對準視場范圍FOV |
±3° |
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測量光束直徑 |
4″（102mm） |
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光學中心線 |
4.25″（108mm） |
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激光光源 |
大功率穩定氦-氖激光，IIIa 級 |
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波長 |
633 nm |
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頻率穩定度 |
< 0.0001 nm |
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相干長度 |
＞100m |
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成像分辨率 |
1200 x 1200 像素 |
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幀速 |
50Hz（600 x 600 像素：82Hz） |
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數據模式 |
10位 |
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放大 |
電控塔臺切換，1X,1.7X,3X |
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偏振 |
接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
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光曈調焦范圍 |
±2m |
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無線遙控 |
聚焦，放大，校準控制；遙控范圍：15m |
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計算機和軟件 |
高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO **MetroproTM X軟件 |
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安裝構造 |
水平臥式或垂直立式 |
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附件 |
參考ZYGO 激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463 |
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尺寸(長x寬x高) |
60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長度增加9cm（3.6in.） |
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重量 |
≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg） |
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電源 |
100-240VAC，50/60Hz |
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保修期 |
2年 |
在使用時有如下特性
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MX軟件功能強大，操作簡單
?集成大量常用測量程序模塊 
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簡單的定制過程，用戶可調
?設定數控采集和數據處理過程中的各種參數 適用于工業化生產的軟件
?質量控制－－自動顯示“合格/不合格”
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